高性價(jià)比關(guān)鍵部位RF系統(tǒng)測量方案

BIRD 半導(dǎo)體 RF 測試

BIRD Semiconductor RF Measurement

l BIRD Technologies 在射頻行業(yè)的各市場及產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)因可靠性而世界聞名──我們?nèi)硇闹铝τ谔嵘?BIRD 產(chǎn)品的可靠性。

l 全球范圍內(nèi)設(shè)立有 Bird Service Center（BSC），能夠根據(jù)各國家標(biāo)準(zhǔn)和各企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)修理與校準(zhǔn) BIRD 產(chǎn)品。

l BSC 能隨時(shí)部署技術(shù)人員，監(jiān)測和排除故障原因，解決任何現(xiàn)場的問題，優(yōu)化客戶方案，滿足客戶的需求。 

半導(dǎo)體市場

Semiconductor Market

l 自從等離子體首次用于晶片生產(chǎn)過程后，功率測量就一直是半導(dǎo)體制造過程的關(guān)鍵部分。等離子體的特性非常靈敏，受激勵(lì)能量影響較大，而射頻能量直接應(yīng)用于激勵(lì)等離子體；

l 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)包含了生產(chǎn)制造高度集成化電路，包含通過將大量極度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝集成到昂貴的生產(chǎn)材料上的過程。

l BIRD 長久以來為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程器件的校準(zhǔn)提供高可靠性的，準(zhǔn)確度在1%的功率傳感器及RF部件；

l 相對于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的其他部分，RF電源雖然體積小但是是極為重要的部分，直接影響等離子體特性變化以及生產(chǎn)質(zhì)量，因此射頻可靠性在整個(gè)環(huán)節(jié)中不可或缺；生產(chǎn)過程的重復(fù)性對于提高產(chǎn)能和控制半導(dǎo)體生產(chǎn)材料的利潤至關(guān)重要。

l BIRD 由于射頻可靠性而聞名，同時(shí)我們也以能提供滿足高重復(fù)性要求的儀器感到自豪。

BIRD RF  校準(zhǔn)

BIRD RF Calibration

l 在初期，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所選擇的激勵(lì)能量為DC直流源。DC 源具有低成本，低準(zhǔn)確度的特點(diǎn)，對于早期半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝精度要求來說綽綽有余。

l 隨著制程科學(xué)技術(shù)及生產(chǎn)工藝的不斷進(jìn)步，設(shè)備廠商 選用射頻源代替 DC 源作為激勵(lì)能量。射頻源具有穩(wěn)定、精準(zhǔn)的特點(diǎn)，能夠保證激勵(lì)能量環(huán)節(jié)的可靠性。

l 在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，射頻能量直接決定了反應(yīng)室中等離子體的特性。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，任何環(huán)節(jié)的可靠性都影響了最終良率。

l 如在 wafer 生產(chǎn)的20日周期內(nèi)，如若任何環(huán)節(jié)出現(xiàn)的微小偏差，最終可能 會造成晶格損傷等嚴(yán)重問題，造成大批壞片。

l 作為產(chǎn)業(yè)鏈其中的環(huán)節(jié)之一，維持射頻電源的穩(wěn)定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對射頻電源的應(yīng)用非常廣泛，射頻上可能出現(xiàn)的問題直接制約了生產(chǎn)工藝及效率。

l 在新進(jìn)設(shè)備裝機(jī)驗(yàn)證及日常運(yùn)行階段，需要定期使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件對射頻電源進(jìn)行驗(yàn)證輸出一致性并加以校正；當(dāng)機(jī)臺設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，需要使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件進(jìn)行故障排查檢測。

BIRD 半導(dǎo)體測量解決方案

BIRD Semiconductor Measurement Solution

l 包含半導(dǎo)體精密功率傳感器、精密負(fù)載、精密讀數(shù)功率計(jì)及 SK-200 纜線測試儀。

其中：

1. 標(biāo)準(zhǔn)阻抗的低插損通過式精密功率傳感器（Sensor）串聯(lián)進(jìn)入系統(tǒng)，準(zhǔn)確測量功率參數(shù)；

2. 精密負(fù)載（Dummy Load）高效耗散射頻能量；

3. 讀數(shù)功率計(jì)（Meter）可自動(dòng)計(jì)算駐波比，實(shí)現(xiàn)精確計(jì)算；

4. SK-200-TC 對于纜線系統(tǒng)及負(fù)載準(zhǔn)確評估，保證系統(tǒng)穩(wěn)定準(zhǔn)確。