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高性價(jià)比關(guān)鍵部位RF系統(tǒng)測量方案
BIRD 半導(dǎo)體 RF 測試
BIRD Semiconductor RF Measurement
l BIRD Technologies 在射頻行業(yè)的各市場及產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)因可靠性而世界聞名──我們?nèi)硇闹铝τ谔嵘?BIRD 產(chǎn)品的可靠性。
l 全球范圍內(nèi)設(shè)立有 Bird Service Center(BSC),能夠根據(jù)各國家標(biāo)準(zhǔn)和各企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)修理與校準(zhǔn) BIRD 產(chǎn)品。
l BSC 能隨時(shí)部署技術(shù)人員,監(jiān)測和排除故障原因,解決任何現(xiàn)場的問題,優(yōu)化客戶方案,滿足客戶的需求。
半導(dǎo)體市場
Semiconductor Market
l 自從等離子體首次用于晶片生產(chǎn)過程后,功率測量就一直是半導(dǎo)體制造過程的關(guān)鍵部分。等離子體的特性非常靈敏,受激勵(lì)能量影響較大,而射頻能量直接應(yīng)用于激勵(lì)等離子體;
l 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)包含了生產(chǎn)制造高度集成化電路,包含通過將大量極度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝集成到昂貴的生產(chǎn)材料上的過程。
l BIRD 長久以來為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程器件的校準(zhǔn)提供高可靠性的,準(zhǔn)確度在1%的功率傳感器及RF部件;
l 相對于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的其他部分,RF電源雖然體積小但是是極為重要的部分,直接影響等離子體特性變化以及生產(chǎn)質(zhì)量,因此射頻可靠性在整個(gè)環(huán)節(jié)中不可或缺;生產(chǎn)過程的重復(fù)性對于提高產(chǎn)能和控制半導(dǎo)體生產(chǎn)材料的利潤至關(guān)重要。
l BIRD 由于射頻可靠性而聞名,同時(shí)我們也以能提供滿足高重復(fù)性要求的儀器感到自豪。
BIRD RF 校準(zhǔn)
BIRD RF Calibration
l 在初期,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所選擇的激勵(lì)能量為DC直流源。DC 源具有低成本,低準(zhǔn)確度的特點(diǎn),對于早期半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝精度要求來說綽綽有余。
l 隨著制程科學(xué)技術(shù)及生產(chǎn)工藝的不斷進(jìn)步,設(shè)備廠商 選用射頻源代替 DC 源作為激勵(lì)能量。射頻源具有穩(wěn)定、精準(zhǔn)的特點(diǎn),能夠保證激勵(lì)能量環(huán)節(jié)的可靠性。
l 在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,射頻能量直接決定了反應(yīng)室中等離子體的特性。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,任何環(huán)節(jié)的可靠性都影響了最終良率。
l 如在 wafer 生產(chǎn)的20日周期內(nèi),如若任何環(huán)節(jié)出現(xiàn)的微小偏差,最終可能 會造成晶格損傷等嚴(yán)重問題,造成大批壞片。
l 作為產(chǎn)業(yè)鏈其中的環(huán)節(jié)之一,維持射頻電源的穩(wěn)定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對射頻電源的應(yīng)用非常廣泛,射頻上可能出現(xiàn)的問題直接制約了生產(chǎn)工藝及效率。
l 在新進(jìn)設(shè)備裝機(jī)驗(yàn)證及日常運(yùn)行階段,需要定期使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件對射頻電源進(jìn)行驗(yàn)證輸出一致性并加以校正;當(dāng)機(jī)臺設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí),需要使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件進(jìn)行故障排查檢測。
BIRD 半導(dǎo)體測量解決方案
BIRD Semiconductor Measurement Solution
l 包含半導(dǎo)體精密功率傳感器、精密負(fù)載、精密讀數(shù)功率計(jì)及 SK-200 纜線測試儀。
其中:
1. 標(biāo)準(zhǔn)阻抗的低插損通過式精密功率傳感器(Sensor)串聯(lián)進(jìn)入系統(tǒng),準(zhǔn)確測量功率參數(shù);
2. 精密負(fù)載(Dummy Load)高效耗散射頻能量;
3. 讀數(shù)功率計(jì)(Meter)可自動(dòng)計(jì)算駐波比,實(shí)現(xiàn)精確計(jì)算;
4. SK-200-TC 對于纜線系統(tǒng)及負(fù)載準(zhǔn)確評估,保證系統(tǒng)穩(wěn)定準(zhǔn)確。